無油干式機(jī)械真空泵(也稱為干式機(jī)械泵)是指一種機(jī)械真空泵，其泵可以從大氣壓力開始泵送空氣，并將泵送的空氣直接排放到大氣中。泵腔內(nèi)無油或其他工作介質(zhì)，泵的極限壓力與油封真空泵相同或接近。

目前真空行業(yè)使用的機(jī)械真空泵大多采用油、水或其他聚合物作為泵的工作介質(zhì)，具有冷卻、、密封、、潤滑等多種功能。隨著科學(xué)技術(shù)的發(fā)展和真空應(yīng)用領(lǐng)域的擴(kuò)大，原機(jī)械真空泵及其抽真空系統(tǒng)存在兩個需要解決的問題:一是泵的工作介質(zhì)回流污染抽吸容器，往往影響產(chǎn)品質(zhì)量，增加設(shè)備維護(hù)成本。其次，真空泵中的介質(zhì)由于一些工藝過程中的反應(yīng)物質(zhì)而嚴(yán)重變質(zhì)，使泵無法正常工作。

對于常見的無油真空系統(tǒng)，雖然可以使用油封真空泵和冷阱或吸附阱等附件來防止回流，但不能完全解決問題，系統(tǒng)復(fù)雜。采用不同類型的干式機(jī)械真空泵，可取得理想的應(yīng)用效果。

干機(jī)械真空泵的應(yīng)用十分廣泛，主要有以下幾點(diǎn)。

（1) 除了半導(dǎo)體技術(shù)，產(chǎn)生顆粒的技術(shù)不想把顆粒混入泵油中，而是想把顆粒排出泵，一定型號的干式機(jī)械真空泵可以滿足要求。

（2)半導(dǎo)體蝕刻技術(shù)。在這些生產(chǎn)技術(shù)中，經(jīng)常使用或生成腐蝕性氣體和研磨粒子。

（3)低壓化學(xué)氣相沉積多晶硅制備技術(shù)。

（4)用作一般無油清潔真空系統(tǒng)的前級泵，防止油污。

（5) 化學(xué)，醫(yī)藥，食品工業(yè)蒸餾，干燥，脫泡，包裝等，防止有機(jī)溶劑污染，適用于干式真空泵。